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2、4寸图型化蓝宝石衬底(PSS)

数量:

产品名称:2英寸图形化蓝宝石衬底/4英寸图形化蓝宝石衬底

产品介绍:图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate,简称“PSS”)是在蓝宝石平片衬底表面通过匀胶、显影、蚀刻等工艺,制作具有微米级结构的图形。利于在图形化衬底上的横向生长技术,会有效减少外延层的缺陷,并显著提高LED的发光与出光效率。 

用途:GaN基发光二级管(LED)、高功率器件

蓝宝石图形化衬底(Patterned Sapphire Substrate, PSS

Item项目

2"

4"

Crystal晶体

LED Grade Sapphire

LED Grade Sapphire

Sapphire purity蓝宝石纯度

≥99.998%

≥99.998%

Color颜色

Transparent

Transparent

Orientation方向

C plane tiled M axis 0.20°±0.1°

C plane tiled M axis 0.20°±0.1°

Diameter直径

50.8±0.1mm

100±0.2mm

Thickness厚度

430±10μm

650±10μm

Primary Flat Location定位面方向

A-axis ± 0.2°

A-axis ± 0.2°

Flat Length定位面长度

16.0±1.0 mm

30.0 ±1.0 mm

Front side surface抛光面

Epi-ready patterned surface

Epi-ready patterned surface

Back side surface背面

Fine ground; Ra < 1.2 um

Fine ground; Ra < 1.2 um

TTV平坦度

≤ 5.0μm

≤ 10μm

BOW弯曲度

≤ -10μm

≤ -20μm

Pattern diameter图形直径

2.7±0.15 um

2.7±0.15 um

Pattern height图形高度

1.6±0.15 um

1.6±0.15 um

Pattern space图形间距

0.3±0.15 um

0.3±0.15 um

Pattern arrangement

Close-packed arrangement; hexagonal type

Close-packed arrangement; hexagonal type

图形间距

Defective patterns

Total defective area 3% of wafer area; Inspection by naked eye added without bright light

Total defective area 5% of wafer area; Inspection by naked eye added without bright light

图形缺陷 

Scratch刮伤

Visible to naked eye added without bright light;

Visible to naked eye added without bright light; 

total length < 3mm

total length < 5mm

Package包装

Clean room, vacuum packing

Clean room, vacuum packing


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