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2、4寸蓝宝石衬底片

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产品介绍:蓝宝石晶片是由高纯度氧化铝(Al2 O3)制成的六方结构单晶材料,具耐腐蚀、耐高温高压、低介电损耗、热稳定性好等优点,是发光二极管和激光二极管的理想材料。

用途:PSS衬底、外延衬底

蓝宝石晶片/Sapphire Wafer

 

项目/Item

2英寸/2 Inch

4英寸/4 Inch

6英寸/6 Inch

 

晶体/Crystal

LED Grade Sapphire

LED Grade Sapphire

LED Grade Sapphire

 

蓝宝石纯度/

≥99.998%

≥99.998%

≥99.998%

 

Sapphire purity

 

颜色/Color

无色透明/

无色透明/

无色透明/

 

Transparent

Transparent

Transparent

 

方向/Orientation

C面偏M0.20°±0.1°角度/

CM0.20°±0.1°角度/

CM0.20°±0.1°角度/

 

C plane tiled M axis 0.20°±0.1°

C plane tiled M axis 0.20°±0.1°

C plane tiled M axis 0.20°±0.1°

 

直径/Diameter

50.8±0.1mm

100±0.2mm

150±0.2mm

 

厚度/Thickness

430±15μm

650±25μm

1300±25μm

 

定位面方向/Primary Flat Location

A-axis ± 0.2°

A-axis ± 0.2°

A-axis ± 0.2°

 

定位面长度/Flat Length

16.0±1.0 mm

30.0 ±1.0 mm

49.0±1.0 mm

 

抛光面Front Side Surface

Mirror polished , EPI-Ready

Mirror polished , EPI-Ready

Mirror polished , EPI-Ready

 

 

表面粗超度/Surface Roughness

 Ra < 3Å

 Ra < 3Å

 Ra < 3Å

 

背面粗超度/Back Side Roughness

Fine ground, Ra=1.0±0.2um

Fine ground, Ra=1.0±0.2um

Fine ground, Ra=1.0±0.2um

 

平坦度/TTV

≤ 5.0μm

≤ 10μm

≤ 15μm

 

中心弯曲度/BOW

0-5um

0-10um

0-30um

 

整体弯曲度/Warp

≤ 10.0μm

≤15μm

≤ 40μm

 

气泡和颜色/Bubble & Color

None by visual inspection in intensive light

None by visual inspection in intensive light

None by visual inspection in intensive light

 

表面边界/Ground Boundary

None by visual inspection in fluorescent light

None by visual inspection in fluorescent light

None by visual inspection in fluorescent light

 

清洁度/Cleanliness

Free visible contamination

Free visible contamination

Free visible contamination

 

包装/Packaging

Vacuum packed in one-piece box or Entegris cassettes of 25

Vacuum packed in one-piece box or Entegris cassettes of 25

Vacuum packed in one-piece box or Entegris cassettes of 25

 

in a class 100 clean room, under a nitrogen atmosphere

in a class 100 clean room, under a nitrogen atmosphere

in a class 100 clean room, under a nitrogen atmosphere

 


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